Главная » Образование, учебная литература » Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Справочное пособие

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Справочное пособие

Цена: 460 руб.
Артикул товара 916776
price 460
author Берлин Евгений Владимирович
publisher Техносфера
series Мир материалов и технологий
year 2014
ISBN 978-5-94836-369-1
volume 1
cover твердый переплет
pages 256
интернет магазин игрушек

Купить Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением. Справочное пособие в интернет-магазине

Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография.
Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок.
Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава.
Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления.
Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций. Купить картины маслом

Обратите внимание

Skoda знак 1J0 601 171 4 шт новый бесплатная заглушка доставка 56 мм Skoda автомобилей центр ступицы
02 kg. Тип материала: ABS Plastic. is_customized: Yes. Ref. Parts No: 1J0 601 171. Outer Diameter: 2. Тип изделия: Оправы & вспомогательное оборудование. Производитель автомобиля: Skoda. Вес товара: 0. Производитель: Unbranded. Название Модели: 1J0 601 171

Популярные товары

Введение в медиологию

Режи Дебре - известный французский политический теоретик левой ориентации, соратник Че Гевары и советник президента Франсуа Миттерана. В 1990 г. он предложил термин «медиология» для обозначения нового учения о средствах

Диодная лазерная спектроскопия и анализ молекул-биомаркеров

Монография посвящена применению методов диодной лазерной спектроскопии для решения задач биомедицинской диагностики, основанной на высокочувствительном спектральном анализе газообразных молекул-биомаркеров. Проведен

Очерки по русскому словообразованию

В предлагаемой читателю книге крупного отечественного языковеда, академика Н.М. Шанского, впервые опубликованной в 1968 г., содержится изложение важнейших теоретических вопросов языкознания, формулируются принципы

Сверхрэлеевское разрешение. Классический взгляд на проблему. Том 1

В монографии показана непротиворечивость между положениями теории Ф.М. Вудворда и постановкой проблемы сверхрэлеевского разрешения. Обобщено понятие функции неопределенностей. Кратко проанализированы известные методы

Дошкольное образование в Англии. К проблеме содержания

В монографии рассматриваются процессы исторического становления, развития дошкольного образования в Англии и его модернизации на современном этапе. Освещены теоретические основы и новые подходы к формированию содержания

Экономическая теория. Полный курс

Настоящая книга представляет собой первый в отечественной экономической науке базовый учебник по экономической теории, где нашли отражение теории, законы, категории, понятия, которые выработала за свою 300-летнюю

Распознавание мест сильных землетрясений в Альпийско-Гималайском поясе

В монографии представлены результаты исследований по определению мест возможного возникновения сильных землетрясений в Альпийско-Гималайском подвижном поясе от Пиренеев и Бетской Кордильеры на западе до Гималаев на

Становление новояпонского языка

Книга известного филолога-япониста Н.А. Сыромятникова посвящена становлению новояпонского языка - живого разговорного языка нового и новейшего времени, сложившегося к концу XVI в. в качестве общеяпонской разговорной и

Система времен в новояпонском языке

Настоящая работа представляет собой первое монографическое исследование, специально посвященное системе времен новояпонского языка. Исследуются все синтаксические позиции, в которых употребляются (или не употребляются)

Избранные труды

В сборник избранных трудов Л.Г. Хачияна (1952-2005) вошли наиболее значительные работы по сложности задач линейного и математического программирования, а также по теории дуализации и генерации. Подробно, в нескольких

Принцип относительности Галилея и неевклидова геометрия

Настоящая книга является первым сочинением в научно-популярной литературе, в котором подробно анализируется "геометрия принципа относительности Галилея". В ее основу положено содержание лекции И.М.Яглома, прочитанной

Представление функций суперпозициями

Основная цель данной книги - продемонстрировать, как решаются проблемы представимости функций суперпозициями для классов функций различной природы. В качестве объектов исследования выбраны классы функций многозначной

Картезианская лингвистика. Глава из истории рационалистической мысли

В настоящей книге выдающийся американский лингвист Ноам Хомский попытался проследить в трудах языковедов и философов прошлого идеи, сходные с положениями разработанной им теории трансформационной порождающей грамматики.

Плоские кривые. Систематика, свойства, применения. Справочное руководство

Настоящая книга является одним из немногих в отечественной литературе пособий энциклопедического характера, посвященных плоским кривым. В книге рассматривается и общая теория кривых (главным образом алгебраических), но

Афоризмы и миниатюры

В книжке представлены афоризмы Николая Векшина на все случаи жизни, а также миниатюры, анекдоты, байки, и пародии.

Забавные рифмы

В книжке представлены новые (написанные Николаем Векшиным за прошедший год) рифмованные афоризмы, ироничные стихи, а также дружеские пародии.

Лимерики

В Англии, а точнее - в Ирландии, а еще точнее - в графстве Лимерик, есть город с одноименным названием (Limerick, англ.) Интересна его история. Лимерик был основан датчанами в IX веке. В апреле 1919 года город был

Похождения Гофмана

Эта иронично-феерическая книга представляет собой капитальное романтическое исследование жизни великого немецкого писателя Гофмана, полной приключениями и разнообразными занятиями.